Lugar de origem: | China |
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Marca: | Newradar |
Certificação: | ISO/DOT/GB |
Número do modelo: | N/A |
Quantidade de ordem mínima: | 1PCS |
Preço: | negotiation |
Detalhes da embalagem: | Cilindro embalado de in10L-50L ou embalado de acordo com as procuras. |
Tempo de entrega: | 25 dias úteis após recebeu seu pagamento |
Termos de pagamento: | L/C, T/T, Western Union, MoneyGram |
Habilidade da fonte: | 500 PCes pelo mês |
Nome do produto: | Misturas do fluoreto do argônio | Gás de enchimento: | Mistura de gases do argônio, do néon e do flúor |
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Tipo da válvula: | CGA679 | Aplicação: | Lasers do Excimer |
Volume do cilindro: | 4-50L ou para personalizar | Pressão de enchimento: | 1800-2000 Psig |
Realçar: | mistura de gases do laser,gás natural dos msds |
O laser feito sob encomenda do Excimer intoxica o laser do fluoreto do argônio para a litografia 193nm
Descrição:
As misturas do fluoreto do argônio são usadas em 193 aplicações da litografia do nanômetro, geralmente conjuntamente com uma mistura de gases inerte.
O laser do fluoreto do argônio é um tipo particular de laser do excimer, que é chamado às vezes um laser do exciplex. Com um seu comprimento de onda de 193 nanômetros, é um laser profundamente ultravioleta, que seja de uso geral na produção de circuitos integrados do semicondutor, cirurgia do olho, micromachining, e pesquisa científica. O excimer do termo é curto para “o dímero entusiasmado”, quando o exciplex for curto para “o complexo entusiasmado”. Um laser do excimer usa tipicamente uma mistura de um gás nobre e um gás de halogênio, que sob circunstâncias apropriadas da estimulação e da alta pressão elétricas, se emita a radiação estimulada coerente na escala ultravioleta.
Os lasers do excimer de ArF são amplamente utilizados nas máquinas de alta resolução da fotolitografia, uma das tecnologias críticas exigidas para a fabricação microeletrónica da microplaqueta. A litografia do laser do Excimer permitiu tamanhos de característica do transistor de encolher de 800 nanômetros em 1990 a 22 nanômetros em 2012.
Especificações:
1. Propriedades físicas
Mercadoria | Gás do fluoreto do argônio |
Fórmula molecular | ArF |
Fase | Gás |
Cor |
Incolor |
Classe perigosa para o transort | 2,2 |
2. dados técnicos típicos (COA)
Major Components | |||
COMPONENTES | CONCENTRAÇÃO | ESCALA | |
Flúor | 1,0% | 0.9-1.0% | |
Argônio | 3,5% | 3.4-3.6% | |
Néon | Equilíbrio | ||
Impurezas de Maxinum | |||
COMPONENTE | CONCENTRAÇÃO (ppmv) | ||
Dióxido de carbono (CO2) | <5> | ||
Monóxido de carbono (CO) | <1> | ||
Tetrafluoride do carbono (CF4) | <2> | ||
Fluoreto do carbonilo (COF2) | <2> | ||
Hélio () | <8> | ||
Umidade (H2O) | <25> | ||
Nitrogênio (N2) | <25> | ||
Trifluórido do nitrogênio (NF3) | <1> | ||
Oxigênio (O2) | <25> | ||
Tetrafluoride do silicone (SiF4) | <2> | ||
Hexafluórido do enxofre (SF6) | <1> | ||
THC (como o metano) (CH4) | <1> | ||
Xênon (Xe) | <10> |
3. Pacote
Especificações do cilindro | Índices | Pressão | ||||
Cilindro | Opções da tomada da válvula | Pés cúbicos | Litros | PSIG | BARRA | |
1 | CGA679 | DISS 728 | 265 | 7500 | 2000 | 139 |
2 | CGA679 | DISS 728 | 212 | 6000 | 2000 | 139 |
3 | CGA679 | DISS 728 | 71 | 2000 | 1800 | 125 |
Aplicações:
As misturas do fluoreto do argônio são usadas em 193 aplicações da litografia do nanômetro, geralmente conjuntamente com uma mistura de gases inerte.