99,9% a especialidade positiva da pureza intoxica Hexafluoro-2-Butyne para a indústria do semicondutor

A pureza 99,9% Hexafluoro-2-butyne, usa-se na indústria do semicondutor.

Descrição:

O butadine do ‐ Hexafluoro1,3 é um gás comprimido liquefeito tóxico, incolor, inodoro, inflamável.

O gás C4F6 como um gás etchant para gravura a água-forte alta do furo do contato do prolongamento pode ser um bom

alternativa aos gás de PFC.

gás que gravar seca de hexafluoro-1,3-butadiene (C4F6) desenvolveu em Rússia. C4F6 permite gravura a água-forte seca em uma linha largura de tão estreito quanto 90 nanômetro ou menos. É consequentemente indispensável para o sistema de processamento LSIs e de alta velocidade, os dispositivos de memória da grande-capacidade que são usados cada vez mais em dispositivos elétricos digitais e em exposições de cristal líquidas.

Os gás do Fluorocarbon são amplamente utilizados para processar o filme de óxido do silicone. Comparado com o octafluorocyclobutane (C4F8) usado atualmente processando na linha largura de 130 nanômetro, C4F6 tem as seguintes vantagens:

baixa carga 1.Very ambiental como é decomposto em menos de dois dias na atmosfera (comparada com os 3.200 anos para C4F8)

2.Therefore, útil como uma alternativa aos perfluorocarbons com potencial alto do aquecimento global.

prolongamento 3.High, tendo por resultado os sulcos estreitos e profundos (apropriados para processar na linha largura muito estreita).

seletividade 4.High (assegura gravura a água-forte do filme de óxido do silicone somente; não afeta o fotoresistente, a carcaça de silicone ou o filme do nitreto)

Fysische eigenschappen

Aplicações:

1. C4F6 pode igualmente ser usado como um tipo do monômero.

2. Pode usar-se no semicondutor que processa a operação dos materiais