CAS No.:: | 685-63-2 | Outros nomes:: | 1,1,2,3,4,4-hexafluorbuta-1,3-dieen |
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Classe do perigo: | 2.3 | Lugar de origem:: | Hubei |
Pureza:: | 99,95% | Aplicação:: | plasma Fluorocarbon-baseado que grava o |
Pacote:: | suficiência do cilindro do cliente | Volume dos cilindros:: | 50L |
Realçar: | Gás Elétrico,pureza mais gás da especialidade |
Pureza alta C4F6 gas99.995%, uso gravura a água-forte Fluorocarbon-baseada do plasma
Descrição:
Gás que gravar HFB, C4F6 seca desenvolveu em Rússia. C4F6 permite gravura a água-forte seca em uma linha largura de tão estreito quanto 90 nanômetro ou menos. É consequentemente indispensável para o sistema de processamento LSIs e de alta velocidade, os dispositivos de memória da grande-capacidade que são usados cada vez mais em dispositivos elétricos digitais e em exposições de cristal líquidas.
Os gás do Fluorocarbon são amplamente utilizados para processar o filme de óxido do silicone. Comparado com o octafluorocyclobutane (C4F8) usado atualmente processando na linha largura de 130 nanômetro, C4F6 tem as seguintes vantagens:
prolongamento 1.High, tendo por resultado os sulcos estreitos e profundos (apropriados para processar na linha largura muito estreita)
seletividade 2.High (assegura gravura a água-forte do filme de óxido do silicone somente; não afeta o fotoresistente, a carcaça de silicone ou o filme do nitreto)
INCÊNDIO MEDIDAS DE LUTA CONTRA
PONTO DE INFLAMAÇÃO | NENHUNS DADOS DISPONÍVEIS. |
MEIOS EXTINGUINDO | APROPRIADO: MOLHE O PULVERIZADOR, SEQUE A ESPUMA, DIÓXIDO DE CARBONO. |
LUTA CONTRA O INCÊNDIO | EQUIPAMENTO DE PROTEÇÃO: VISTA INSTRUMENTO E VESTUÁRIO DE PROTEÇÃO DE RESPIRAÇÃO INDEPENDENTE PARA IMPEDIR O CONTATO COM PELE E OLHOS. PERIGOS ESPECÍFICOS: EMITE-SE EMANAÇÕES TÓXICAS SOB CONDIÇÕES DO FOGO. OS CILINDROS PODEM ROMPER SOB CONDIÇÕES DO FOGO. REFRIGERE TODOS OS RECIPIENTES AFETADOS COM INUNDAÇÃO DE QUANTIDADES DE ÁGUA. |
MEDIDAS DE PRIMEIROS SOCORROS
EXPOSIÇÃO DE INALAÇÃO | SE INALADO, REMOVA EXPOSTO AO AR FRESCO. SE RESPIRAR É DIFÍCIL, CHAME UM MÉDICO IMEDIATAMENTE. |
EXPOSIÇÃO CUTÂNEA | EM CASO DA EXPOSIÇÃO, LAVE IMEDIATAMENTE A PELE COM SABÃO E QUANTIDADES COPIOSOS DE ÁGUA. CHAME UM MÉDICO IMEDIATAMENTE. |
EXPOSIÇÃO DO OLHO | EM CASO DO CONTATO COM OLHOS, RESPLENDOR COM QUANTIDADES COPIOSOS DE ÁGUA NO MÍNIMO 15 MINUTOS. ASSEGURE O NIVELAMENTO ADEQUADO SEPARANDO AS PÁLPEBRAS COM DEDOS. CHAME UM MÉDICO IMEDIATAMENTE. |
EXPOSIÇÃO ORAL | NÃO UMA ROTA NORMAL DA ENTRADA. SE ENGULIDO, LAVE PARA FORA A BOCA COM ÁGUA DESDE QUE A PESSOA É CONSCIENTE. CHAME UM MÉDICO. |
Aplicações:
1.C4F6 pode usar-se como o filme organometálico que forma gás,
2. O gás de HFB (C4F6) pode usar-se como agentes de limpeza, desperdício-gás que processa purificadores