| Lugar de origem: | China |
|---|---|
| Marca: | Newradar Gas |
| Certificação: | ISO/DOT/GB |
| Número do modelo: | N/A |
| Quantidade de ordem mínima: | PCes 1 |
| Preço: | negotiation |
| Detalhes da embalagem: | Embalado no cilindro 10L-500L ou embalado de acordo com as procuras. |
| Tempo de entrega: | 10-20 dias de trabalho receberam em seguida seu pagamento |
| Termos de pagamento: | L/C, T/T, Western Union, MoneyGram |
| Habilidade da fonte: | PCS 1000 pelo mês |
| nome do produto: | Trifluórido do nitrogênio | DENSIDADE: | 3,003 kg/m3 (1 atm, °C) 15 |
|---|---|---|---|
| Odor: | Mofado | Aparência: | Gás incolor |
| CAS No.: | 7783-54-2 | EINECS não.: | 232-007-1 |
| Ponto de derretimento: | °C −207.15 | Ponto de ebulição: | °C −129.06 |
| Realçar: | Gás Elétrico,pureza mais gás da especialidade |
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NF3, gás líquido, trifluórido do nitrogênio, 99.99~99.999%, usados na indústria eletrônica
Descrição:
O trifluórido do nitrogênio (NF3) é um gás incolor e estável sob circunstâncias ambientais. O gás é incombustível mas pode apoiar a combustão. Quando a temperatura está acima de 350℃, o gás decomporá lentamente para produzir o flúor da oxidação forte e consequentemente, é um oxidante forte na alta temperatura.
Os átomos resultantes do flúor são os agentes de limpeza ativos que atacam o polysilicon, o nitreto de silicone e o óxido de silicone. O trifluórido do nitrogênio pode ser usado também com silicide do tungstênio, e tungstênio produzido pelo CVD.
NF3 foi considerado como um substituto ambientalmente preferível para o hexafluórido do enxofre ou perfluorocarbons tais como o hexafluoroethane. A utilização do processo dos produtos químicos aplicados em processos do plasma está tipicamente abaixo de 20%. Consequentemente algum do PFCs e igualmente algum sempre do escape NF3 na atmosfera. Os sistemas modernos da redução do gás podem diminuir tais emissões.
Especificações:
1. Propriedades físicas
| Nome do produto | Trifluórido do nitrogênio |
| Fórmula molecular | NF3 |
| UN não. | UN 2451 |
| CAS No. | 7783-54-2 |
| EINECS não. | 232-007-1 |
2. dados técnicos típicos
| Artigo | Unidade | Posicione | |
| NF3 | ≥ de Vol.% | 99,995 | 99,99 |
| CF4 | ≤ de Vol.% | ≤20 | ≤40 |
| N2 | ≤ de Vol.% | ≤5 | ≤10 |
| O2+Ar | ≤ de Vol.% | ≤3 | ≤5 |
| CO | ≤ de Vol.% | ≤1 | ≤5 |
| CO2 | ≤ de Vol.% | ≤1 | ≤5 |
| N2O | ≤ de Vol.% | ≤1 | ≤5 |
| SF6 | ≤ de Vol.% | ≤2 | ≤5 |
| H2O | ≤ de Vol.% | ≤3 | ≤1 |
3. Pacote
Cilindro de aço sem emenda da tonelada dos cilindros 3AA/GB5099 do PONTO
| Informação dos cilindros | Cilindro individual (47L) | Pacote | Cilindro de Y | Tubo do ISO |
| Material | Aço do manganês (316L) | Aço Cr-Mo | ||
| Tipo de conexão da válvula | CGA 330 CGS/DISS 640 | DISS 640 etc. | ||
| Tipo | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft: 40ft | |
| Pressão | 9-13Mpa | |||
| Peso de enchimento | 20/22.7kg | 195/200 |
Aplicações:
O trifluórido do nitrogênio (NF3) foi amplamente utilizado na indústria eletrônica, o semicondutor e a indústria solar etc. que da fotoeletricidade é boa gravura a água-forte e um gás de limpeza com vantagens de nenhum permanecer, velocidade de limpeza alta e fácil decompor.
