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Mistura de gases incolores da especialidade

Informação Básica
Lugar de origem: China
Marca: newradar / accept OME
Certificação: ISO/DOT/GB
Número do modelo: N/A
Quantidade de ordem mínima: 1000 litros
Preço: negotiation
Detalhes da embalagem: 10kg, 40kg ou 50kg embalados no cilindro de gás qualificado ou embalados de acordo com as procuras
Tempo de entrega: 15-25 dias de trabalho receberam em seguida seu pagamento
Termos de pagamento: L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Habilidade da fonte: 3,00 medidores cúbicos pelo mês
Informação detalhada
CAS No.: 7439-90-9 UN nenhum: 1982
Pureza:: 99,999% Pacote:: cilindros de aço sem emenda
Outros nomes: Mistura do tetrafluoride do carbono do oxigênio Aparência:: Gás incolor
Volume dos cilindros:: 10L, 25L, 40L ou 50L Padrão da categoria: Categoria da categoria do elétron
Tóxico: Não-tóxico Aplicação: processo da litografia 248nm e misturado com o halogênio usando gás misturados
Realçar:

gás da especialidade dos produtos do ar

,

gás da especialidade do liquide do ar


Descrição de produto

Oxigênio das mistura de gases 20% da especialidade com O2 do tetrafluoride CF4 Mixted do carbono para o polysilicon gravura em àgua forte, e dióxido de silicone

 

Descrição:

 

Mistura de gases da especialidade

 

O Tetrafluoride do carbono é uma fonte de radicais livres do fluoreto do flúor ou do carbono usados uma variedade de etchprocesses da bolacha. O Tetrafluoride do carbono é usado com oxigênio para gravar o polysilicon, o dióxido de silicone, e o nitreto de silicone.

 

O Tetrafluoride do carbono é relativamente inerte em condições normais e é um agente asfixiante. Sob condições do plasma do RF, os radicais livres do flúor são tipicamente sob a forma de CF3

ou CF2. Resultados de um CarbonTetrafluoride da pureza mais alta no controle superior do processo, que conduz ao melhor controle dimensional e de perfil.

 

Outros halocarbons, assim como a presença de ar ou de oxigênio, são prejudiciais ao controle gravura em àgua forte anisotrópica.

 

Especificações:

 

1. Propriedades físicas

 

Major Components
COMPONENTES CONCENTRAÇÃO ESCALA
O2 20% 19.9-20.1%
CF4 Equilíbrio  

 

 

 

 

 

 

2. dados técnicos típicos (COA)

 

Impurezas máximas
COMPONENTES CONCENTRAÇÃO (ppm)
Dióxido de carbono (CO2) <1>
Monóxido de carbono (CO) <1>
Umidade (H2O) <0>
Nitrogênio (N2) <10>
Oxigênio (O2) <5>
THC (como o metano) (CH4) <0>
Outros Halocarbons <1>
Hexafluórido do enxofre <1>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Cilindro Specifications* Índices Pressão
Cilindro Opções da tomada da válvula Libras PSIG BARRA
2 CGA 580 DISS 716 70 2000 139

 

 

 

 

Mistura de gases incolores da especialidade 0

Aplicações:

 

1

 Tetrafluoromethane é usado às vezes como um líquido refrigerante da baixa temperatura.

 

2

 É usado no microfabrication da eletrônica apenas ou em combinação com o oxigênio como um plasma etchant para o silicone, o dióxido de silicone, e o nitreto de silicone.

 

3

 Igualmente tem usos em detectores de nêutron

 

 

Contacto
Vicky Liu

Número de telefone : 86-27-82653381

Whatsapp : +8613667126861