Gás eletrônicos da pureza alta/Germanomethane, gás GeH4 de Monogermane

Pureza alta Germanomethane, gás GeH4 de Monogermane usado na indústria eletrônica

Descrição:

O gás decompõe perto de 600K ao germânio e ao hidrogênio. Devido a seu lability térmico, ligado é usado na indústria do semicondutor para o crescimento epitaxial do germânio por MOVPE ou pela epitaxia química do feixe. Os precursores de Organogermanium (por exemplo isobutylgermane, tricloretos do alkylgermanium, e tricloreto do dimethylaminogermanium) foram examinados como alternativas líquidas menos perigosas a ligado para o depósito de filmes decontenção por MOVPE. Germaneis um hidruro do grupo 14.

Especificações:

1. Propriedades físicas

2. Dados técnicos típicos (COA)

3. Detalhes de embalagem:

4. Aplicações:

O trifluórido do nitrogênio (NF3) foi amplamente utilizado na indústria eletrônica, o semicondutor e a indústria solar etc. que da fotoeletricidade é boa gravura a água-forte e um gás de limpeza com vantagens de nenhum permanecer, velocidade de limpeza alta e fácil decompor.