O laser feito sob encomenda do Excimer intoxica o laser do fluoreto do argônio para a litografia 193nm

O laser feito sob encomenda do Excimer intoxica o laser do fluoreto do argônio para a litografia 193nm

Descrição:

As misturas do fluoreto do argônio são usadas em 193 aplicações da litografia do nanômetro, geralmente conjuntamente com uma mistura de gases inerte.

O laser do fluoreto do argônio é um tipo particular de laser do excimer, que é chamado às vezes um laser do exciplex. Com um seu comprimento de onda de 193 nanômetros, é um laser profundamente ultravioleta, que seja de uso geral na produção de circuitos integrados do semicondutor, cirurgia do olho, micromachining, e pesquisa científica. O excimer do termo é curto para “o dímero entusiasmado”, quando o exciplex for curto para “o complexo entusiasmado”. Um laser do excimer usa tipicamente uma mistura de um gás nobre e um gás de halogênio, que sob circunstâncias apropriadas da estimulação e da alta pressão elétricas, se emita a radiação estimulada coerente na escala ultravioleta.

Os lasers do excimer de ArF são amplamente utilizados nas máquinas de alta resolução da fotolitografia, uma das tecnologias críticas exigidas para a fabricação microeletrónica da microplaqueta. A litografia do laser do Excimer permitiu tamanhos de característica do transistor de encolher de 800 nanômetros em 1990 a 22 nanômetros em 2012.

Especificações:

1. Propriedades físicas

2. dados técnicos típicos (COA)

3. Pacote

Aplicações:

As misturas do fluoreto do argônio são usadas em 193 aplicações da litografia do nanômetro, geralmente conjuntamente com uma mistura de gases inerte.