C4F6 gás eletrônico incolor Hexafluoro-1,3-Butadiene do cilindro da pureza dos gás 44L 99,95%

C4F6 que grava o gás para o processamento do semicondutor

Descrição:

C4F6 (Hexafluoro-1,3-butadiene) é usado para aplicações dielétricas gravura em àgua forte. Hexafluoro-1,3-butadiene é um gás comprimido liquefeito tóxico, incolor, inodoro, inflamável.

Pacote: 44~49L cilindro, válvula de CGA350 SS

Índice de enchimento: 20kg/cyl

C4F6, é um gás a favor do meio ambiente, de capacidade elevada da especialidade da fabricação do semicondutor isso
fornece taxas altas gravura em àgua forte, o bom controle do prolongamento e a seletividade alta a
fotoresistente em aplicações dielétricas críticas gravura em àgua forte.

O gás C4F6 melhora resultados dielétricos do processo gravura em àgua forte em muitas áreas de processamento chaves, incluindo as aplicações damascene duplas de cobre e baixos materiais dielétricos de K para 0,13 mícrons e além dos projetos de microplaqueta. Sifren 46 igualmente fornece vantagens ambientais em baixas emissões do aquecimento global e zero
potencial da prostração de ozônio.

PROPRIEDADES FÍSICAS E QUÍMICAS

PACOTE PADRÃO INFORMATION-ASIA E AMERICA DO NORTE

Aplicações:

1. processos gravura a água-forte do plasma para dispositivos do mícron do Secundário-quarto.

2. plasmas alternativos do gás de Perfluorocarbon

3. Usado nos TFT-LCDs e no photovoltaics.