Informação detalhada

Aplicação:	processo da litografia 248nm e misturado com o halogênio usando gás misturados	CF4:	tetrafluoromethane
UN nenhum:	1982	Oxigênio:	o2
Pacote::	cilindros de aço sem emenda	Outros nomes:	Mistura do tetrafluoride do carbono do oxigênio
Aparência::	Gás incolor	Volume dos cilindros::	10L, 25L, 40L ou 50L
Padrão da categoria:	Categoria da categoria do elétron	Tóxico:	Não-tóxico
Destacar:	gás da especialidade do liquide do ar , gás especiais

Descrição de produto

Do gás de UHP oxigênio das mistura de gases da especialidade O2 e CF4 com o fabricante da mistura de Tetrafluoromethane

Descrição:

Etch.control anisotrópico. Outros halocarbons, assim como a presença de ar ou de oxigênio, são prejudiciais ao controle de resultados do theTetrafluoride no controle superior do processo, que conduz a melhor dimensional e ao perfil. Uma pureza mais alta Carbonor CF2conditions, o flúor que os radicais livres são tipicamente sob a forma do Tetrafluoride de CF3Carbon é relativamente inerte em condições normais e é um agente asfixiante. Sob plasmaprocesses do RF. O Tetrafluoride do carbono é usado com oxigênio para gravar o polysilicon, o dióxido de silicone, e o nitreto de silicone. O Tetrafluoride do carbono é uma fonte de radicais livres do fluoreto do flúor ou do carbono usados uma variedade de gravura em àgua forte da bolacha

Especificações:

1. Propriedades físicas

Major Components
COMPONENTES	CONCENTRAÇÃO	ESCALA
O2	20%	19.9-20.1%
CF4	Equilíbrio

2. dados técnicos típicos (COA)

Impurezas máximas
COMPONENTES	CONCENTRAÇÃO (ppm)
Dióxido de carbono (CO2)	<1>
Monóxido de carbono (CO)	<1>
Umidade (H2O)	<0>
Nitrogênio (N2)	<10>
Oxigênio (O2)	<5>
THC (como o metano) (CH4)	<0>
Outros Halocarbons	<1>
Hexafluórido do enxofre	<1>

Cilindro Specifications*			Índices	Pressão
Cilindro	Opções da tomada da válvula		Libras	PSIG	BARRA
2	CGA 580	DISS 716	70	2000	139

Aplicações:

Tetrafluoromethane é usado às vezes como um líquido refrigerante da baixa temperatura.

É usado no microfabrication da eletrônica apenas ou em combinação com o oxigênio como um plasma etchant para o silicone, o dióxido de silicone, e o nitreto de silicone.

Igualmente tem usos em detectores de nêutron

etiqueta:

Lugar de origem:	China
Marca:	Newradar Gas
Certificação:	ISO/DOT/GB
Número do modelo:	N/A

Quantidade de ordem mínima:	1000 litros
Preço:	Negociável
Detalhes da embalagem:	10kg, 40kg ou 50kg embalados no cilindro de gás qualificado ou embalados de acordo com as procuras
Tempo de entrega:	15-25 dias de trabalho receberam em seguida seu pagamento
Termos de pagamento:	L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Habilidade da fonte:	3,00 medidores cúbicos pelo mês

Do gás de UHP oxigênio das mistura de gases da especialidade O2 e CF4 com o fabricante da mistura de Tetrafluoromethane

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